DUAH
고속 초 정밀 에어 척
척의 외경에 원심력에 의한 파악력 보상 기구가 설치되어 고속회전 가공시 사용
VTR Head, Hard Disk Drive Hub등 정밀 전자 부품 및
척킹 변형이 우려되는 알루미늄, 세라믹 등의 가공에 사용
척킹력을 쉽게 조정할 수 있으므로 소재의 조건에 따라 사용이 용이
고정도의 정밀도가 보장됨
척의 반복 정밀도는 0.3㎛~2.5㎛ T.I.R