DUAH
高速超精密エアチャック
チャックの外径に遠心力による把握力補償機構が設けられ、高速回転加工時に使用
VTR Head、Hard Disk Drive Hubなど精密電子部品および
チャッキング変形が懸念されるアルミニウム、セラミックなどの加工に使用
チャッキング力を簡単に調整できるため、素材の条件に応じて使いやすい
高精度の精度が保証されています
チャックの繰り返し精度は0.3μm~2.5μm T.I.R