超精密ダイアフレムチャック

VTR Head、Hard Disk Drive Hubなど精密電子部品および
チャッキング変形が懸念されるアルミニウム、セラミックなどの加工に使用 Jawの交換だけで内径と外径を自由にクランプする 内部ミルペ型で異物投入が不可能 Air SensingまたはCoolant Blowのインストールが可能 チャックの繰り返し精度は0.3μm～2.5μm T.I.R